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等离子蚀刻及清洁系统

  • 发布日期:2020-03-28

  • 来源:http://www.pearlbaytec.com/supply/1.html
详细介绍

概述:
 P15V专为处理电路板设计,垂直试挂板方式使操作方式更加简易,快捷。
特征:
1、专利高效能产品设计
2、低耗能、低耗气产品
3、 便捷的垂直收放板方式
4、合理的等离子反应空间,使处理更均匀
5、 集成的控制系统设计,使操作更方便
6、真空系统集成,占地面积小
技术指标:
电极 有效尺寸 21H*25D in/24H*44D in
电极分布 15层垂直分布(15个反应区)
腔体 尺寸 1105W*840D*932H mm/1156W*1650D*1010H mm
材料 航空铝合金
主机 主机体尺寸 1500W*1100D*2050H mm/1826W*1710D*2326H mm
安装面积 3000*4000mm
重量 2200Kg/2850Kg
功率@频率 10KW@40Hz
真空泵 干泵 1060CFM/1178CFM
干燥空气压力 0.15-0.2Mpa
干燥空气流量 0-60L/Min
安装条件 电力 AC380V,50/60HZ,3Phase 5Wire ,30KVA
AC380V,50/60HZ,3Phase 5Wire ,38KVA
冷却水 3.5M3/H
工艺气体 CF4:99.999% O2: 99.999%  N2: 99.999%
Ar:99.999%  H2: 99.999% 等
排气管道接口 KF50
产品认证 CE RoHS FCC
应用领域:
1、 PCB 孔内钻污及表面清洁
2、HDI 板孔底及孔壁钻污的清洁
3、 FPC 孔内钻污及表面清洁
4、PI 表面粗化及清洁
5、 Coverlay 表面粗化及清洁
6、Teflon板的活化及孔内钻污清洁
7、软硬结合板孔内钻污及表面清洁

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